ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (ລາງລົດໄຟທີ່ມີລູກປືນ) |
ປະເພດມໍເຕີ | ມໍເຕີທີ່ບໍ່ມີທາດເຫຼັກສາມເຟດ | ມໍເຕີສາຍສຽງ+ |
ຄວາມລະອຽດ | ປະລິມານດິຈິຕອລ 100nm ເລີ່ມຕົ້ນ | 1vpp ລົງເຖິງ 5nm |
ແຮງດັນມໍເຕີ | 60N/ສູງສຸດ 210N ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ | 60N/ສູງສຸດ 210N ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ |
ຂະໜາດຂັ້ນຕ່ຳ[nm] | 200nm | 100nm |
ການເດີນທາງ [ມມ] | 200×200 | 10 |
ການເຮັດຊໍ້າຄືນ [um] | ±0.3 | |
ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງ [um] | ±1 | ±0.5 |
ແປ [um] | 10 ນ | 5 ນ |
ຄວາມຊື່ [um] | 1um | 1um |
ຄວາມໄວສູງສຸດ [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
ຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດ [kg] | 5kg (ແກນ Z ທີ່ມີນ້ໍາຫນັກຄົງທີ່ pneumatic) |